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クロロシランの貯蔵タンクが漏れた場合、リスクはプロセスパイプ漏れよりもはるかに大きい。その大きな保管のため、一旦漏れが起こるならば、タイムリーにそれを接続しないならば、影響は拡大し続けます。貯蔵タンク面積は、冷却用に水で満たされることが多い。塩素-シランの漏出は水と反応して、毒性の高いHCIを生産します。

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