クロロシラン入門 - Hubei Co-Formula Material Tech Co.,Ltd.

クロロシランは、反応性水素を含む化合物と激しく反応する化学物質である。

クロロシランは、水、アルコール、フェノール、シラノール、有機酸等の活性水素を含む化合物と激しく反応し、塩化水素を放出する。有機金属化合物と反応すると、塩素原子は対応する有機基に置換されオルガノクロロシランまたはオルガノシランを形成する。シリコンエピタキシャルウェハ製造におけるシリコン源として使用される

および有機クロロシラン製造用原料。

融点は−118 dS、沸点は4 DHC C、蒸気圧は4920 mmHg（25℃）。

クロロシランは、水、アルコール、フェノール、シラノール、有機酸等の活性水素を含む化合物と激しく反応し、塩化水素を放出する。有機金属化合物と反応すると、塩素原子は対応する有機基に置換されオルガノクロロシランまたはオルガノシランを形成する。シリコンエピタキシャルウェハ製造におけるシリコン源として使用される

クロロシランは、水、アルコール、フェノール、シラノール、有機酸等の活性水素を含む化合物と激しく反応し、塩化水素を放出する。有機金属化合物と反応すると、塩素原子は対応する有機基に置換されオルガノクロロシランまたはオルガノシランを形成する。シリコンエピタキシャルウェハ製造におけるシリコン源として使用される

および有機クロロシラン製造用原料。

融点は−118 dS、沸点は4 DHC C、蒸気圧は4920 mmHg（25℃）。

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