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クロロシランは、有機合成、Smokescreen製造、戦場刺激性ガス、単結晶シリコン原料、光ファイバ、エピタキシー、エッチング、化学蒸着のために使うことができます。

クロロシランは、室温と圧力で息を刺激している匂いによる無色透明な有毒な液体です。それは有毒な蒸気を与えて、熱安定性です。空気中では燃えない。空気中の酸素と反応して400℃以上でsio 2を形成した。湿った空気で加水分解されると、蒸気で固体粒子が形成される。水と激しく反応して、ケイ酸と塩酸を形成します。それは多くの金属酸化物と反応して、塩化物を形成することができます。それはアンモニアと反応して、テトラアミン・シリコンを形成して、スモッグを生産することができます。グリセリン試薬と反応し,オルガノクロロシランを形成する。アルコールと反応して珪酸塩を形成する。腐食性で、アルミニウムや黄銅を腐食させることができます。ベンゼン、クロロホルム、エーテル等の有機溶剤で混和することができます。クロロシラン

の毒性はクロロシランの毒性が主に強い苛立ちと腐食に現れます。それは、涙、咳、結膜炎、上気道炎、気管、気管支、肺の炎症を引き起こすことができる皮膚、目と呼吸器粘膜を刺激し、腐食することができます。それは腐食し、細胞を破壊することができます。